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产品介绍
Galaxy银河官网首页开发的DiaCentre-6K-D 碟形腔式MPCVD系统,是生产大尺寸、高品质单晶/多晶金刚石的高性能专用装备。该设备采用碟形腔设计,是目前国内大规模应用的碟形腔式方案,经300余台设备批量应用验证表明,具有成熟、可靠性高、批量一致性好、腔体易清洁操作、可避免石英刻蚀污染、等离子体覆盖面积大的突出特点。
DiaCentre-6K-D 碟形腔式 标准机配置清单
可选配置
更多路气体质量流量控制系统
干泵、分子泵系统
进口红外测温仪
定制化需求
应用领域
金刚石材料是目前已知的最坚硬的物质,同时以其优异的光、电、热、声等方面的 优异性能,被誉为“材料之王”,是21世纪最有潜力的材料之一。
实现金刚石功能化应用已成为航空航天探测器、新一代半导体材料、特种光学、核工业电子器件、高功率器件、高性能 电极、传感器等国家重点工程发展的必然需求,具有广阔的应用前景与市场潜力,被列为我国战略性新兴产业。
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